“第一台光刻工具看起来就像一个投影仪，”阿斯麦负责EUV业务的执行副总裁克里斯托弗·福凯（Christophe Fouquet）表示，“基本上会有一个标线，用来保存你想要投射的影像。然后有一个光学系统，它会把图像投射到晶圆上。”

到1988年，阿斯麦在美国拥有5个办事处，共有员工84人，并在荷兰费尔德霍芬设置一个新的办事处，该办公室最终成为该公司总部。

“当半导体行业准备进入EUV研究的早期阶段时，没有一家美国公司准备冒险尝试这个昂贵而有风险的项目，但阿斯麦做出了不同的选择，”即将出版的《芯片战争：世界最关键技术之战》一书的作者米勒表示，“阿斯麦是一家荷兰公司，但它也是一家严重依赖美国零部件的荷兰公司，尤其是在其设备上。”

“这是政府们的选择”

EUV光刻机由来自全球近800家供应商的多个模块和数十万个零部件组成。每个模块都在阿斯麦全球60个办公室中进行研发生产，然后运往费尔德霍芬进行组装。每台组装好的机器经过测试后，就会被拆解，然后发运给芯片制造商。EUV光刻机的运输需要20辆卡车和三架满载的波音747飞机。

中国大陆是阿斯麦没有出口EUV技术的国家或地区一。“全球42个国家（《瓦森纳协定》成员国）已经同意对其实施出口管制，因为它非常关键，”温彼得称，“所以这不是我们的选择，而是政府们的选择。”

美国对荷兰政府的施压早在特朗普任期内便已开始。据时任美国总统副国家安全顾问的查尔斯·库珀曼（Charles Kupperman）回忆，他2019年曾邀请荷兰外交官前往白宫，并向后者施压，称“忠实的盟友”不会向中国大陆出售EUV这类设备。库珀曼还警告荷兰方面，如果没有美国的零部件，阿斯麦的设备就无法运转，而白宫有权限制这些零部件向荷兰出口。

“中国（大陆）想要加入这场竞赛，”Semico Research的乔安妮•伊托表示，“但由于政治原因，中国（大陆）无法获得这项技术。”

极紫外光刻机在工作 图源：阿斯麦

不过，阿斯麦在用另一种方式和中国大陆做生意。该公司更新了被称为深紫外线（DUV）的老式光刻系统，并将其中的许多设备卖给中国大陆。温彼得透露，阿斯麦售出的设备中96%仍在使用。

“关于向中国大陆出售更多的DUV设备，提高其生产接近尖端半导体的能力，是否也是一种‘国家安全风险’，这其中存在很多争议，”米勒称，“我认为，在未来几年，阿斯麦向中国出售DUV设备的能力可能也会受到新的限制。”

EUV出现之前，芯片制造商可以从阿斯麦、尼康和佳能三家公司购买DUV光刻机。

虽然日本尼康仍然是光刻机市场的竞争者之一，但阿斯麦是EUV的唯一供应商。国外行业专家认为，其他公司可能需要几十年时间才能赶上，一方面是因为阿斯麦拥有专有技术，另一方面是因为阿斯麦与数百家供应商达成了复杂且往往是独家的协议。

“我们对一些客户来说是独一无二的，一些供应商对我们来说也是独一无二的，”温彼得称，“有些人说，这种近乎共生的关系比结婚还要糟糕，因为你不能离婚。”

图源：阿斯麦

今年1月，温彼得曾针对中国大陆市场表示：“中国不太可能独立复制（replicate）出顶尖的光刻技术，因为阿斯麦依赖于不懈的创新，以及整合只有从非中国供应商处才能获得的零部件。但我的意思并不是绝对不可能，因为中国的物理定律和我们这里是一样的。永远别那么绝对，他们肯定会尝试的。”

半导体是一种高风险的行业，阿斯麦使自己免受供应链风险的一种方式是收购一些供应商，例如位于美国圣地亚哥的Cymer，它是EUV大功率光源制造商。阿斯麦还在2020年收购了德国Berliner Glas，这是一家陶瓷和光学模组制造商，“对于支持实现EUV和DUV的产品开发蓝图很重要”。今年1月，Berliner Glas曾发生一场火灾，但温彼得表示，这场火灾不会对今年的设备出货造成重大影响。

财报显示，阿斯麦2021年总营收为186亿欧元（约合人民币1339亿元），同比增长33%；净利润为59亿欧元（约合人民币425亿元），同比增长66%；毛利率为53%，比上年同期提高4个百分点。 该公司预计，2022年的销售将增长20%，未来10年的年复合增长率为11%。