走自主研发之路

　　“光刻胶在玻璃釜里制造和在流水线上生产有很大区别，试生产阶段要时刻关注数据变化，确保产品稳定性。”在徐州博康新厂大数据控制中心，公司产品总监邵严亮正带领团队针对一款即将量产的光刻胶进行稳定性评估。

　　工欲善其事，必先利其器。今年6月份，徐州博康建成并投产国内最完备的高水平光刻胶研制基地，每年可生产1100吨光刻材料、10000吨电子级溶剂，产值达20亿元。“徐州博康不仅在光刻胶单体生产上实现了突围，也在光刻胶产业链研发制造及光刻机的研发上全面发力。”邵严亮介绍说，目前徐州博康光刻胶单体占全球市场份额5%，储备了全球80%的技术，开发出10多个高端光刻胶系列产品。

　　打破国外垄断、实现自主研发离不开科技创新的支撑，而提高科技创新支撑能力，人才是关键。

　　“为了给企业自主研发提供源源不断的技术力量，我们在国内光刻胶领域广发英雄帖，组建了120余人的研发团队，占公司员工超40%，同时搭建了3000平方米国际标准研发中心作为技术创新平台。”傅志伟说，通过不计其数的试验，忍耐了无数次的失败、重来，再失败、再重来，公司自主研发收获颇丰，已获批27项发明专利，正在申请的专利达41项，并具有完全的自主知识产权。

　　布局中高端市场

　　傅志伟说，早在2013年，中科院微电子所就与徐州博康展开了密切合作，在光刻研发方面突飞猛进，并不断挑战一个又一个技术封锁，最终使得光刻技术的研发达到国际先进技术水平。

　　在光刻材料取得重大进展的同时，徐州博康还与中科院微电子所联合组建了一支新团队——江苏影速，开始进军先进光刻设备领域。

　　短短3年时间，江苏影速就完成了半导体纳米级制板光刻设备研发及PCB激光直接成像设备研发两个国家科技重大专项，成为我国唯一能够制造“半导体纳米级制板光刻设备”的企业，产品交付国内研究所、军工企业及一线厂商，逐步挤压进口设备的市场空间，并结束了我国半导体装备领域“零出口”的历史。

　　与此同时，徐州博康收购了英国的光刻机制造企业NBL电子束光刻机公司并落户徐州经济技术开发区，未来将在园区内主要生产电子束光刻机、扫描电镜、高压电源以及电子束枪、无磁电机等高科技产品。

　　目前，徐州博康已经发展为全国为数不多的中高端光刻胶材料研发和规模化生产企业，成为全球最快激光直写光刻机的发明者和制造商。谈到企业未来的发展，傅志伟说：“我们要努力掌握和创造属于我们自己的光刻技术及产品，改变全球光刻产业格局。”

责任编辑：杨征帆